首先廢氣經均流板過濾棉進入設備時，由設備高壓穩定高（gāo）頻放電，瞬間產生1.5萬（wàn）伏（fú）特至2萬伏特（tè）高壓，擊穿廢（fèi）氣。此階段中，長鏈、多鏈（liàn）廢氣（qì）分子由於鍵能較弱，約束力較小。很容（róng）易被擊穿化學鍵破裂（liè），從（cóng）而變（biàn）成小分子化合物，此為第（dì）一階段淨化。

其次，隨廢氣進入設備的水分子、氧分子被高壓（yā）擊穿斷裂，生成強氧化基（jī）團羥基、臭氧分子等。這些強氧化基團與廢氣分子充分接（jiē）觸氧化，加快反應進程。整個反應幹淨，能量利用率高，淨化效（xiào）率非常高。

等離子功能段可以激發汙染物能量，促使（shǐ）長鏈、多鏈汙染（rǎn）物分子的分子鍵斷裂重組，使難處理的汙染物降（jiàng）解為較（jiào）易處理（lǐ）的低碳汙染物。

從等離子（zǐ）體（tǐ）反應過程可以看出，電子先（xiān）從電（diàn）場獲得能量，通過激發或電離將能量轉移到汙染物分子中去，那些（xiē）獲得能量的汙（wū）染（rǎn）物分子被激發，同時有部分分子被電離，從而成為活性基團。然後這些活性基團與氧氣、活性基團與活性基團之間相互碰撞後生成穩定產物和熱。

另外，高能電子也（yě）能被鹵素和氧氣等（děng）電子親（qīn）和力較強的物質俘獲，成為負離子。這類負離（lí）子具有很好的化學活性，在（zài）化學反應中（zhōng）起著重要的（de）作用。